不锈钢光亮退火炉,固溶炉,回火炉,淬火炉
修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中。
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